工艺制程中会使用到易燃易爆/有毒有害/腐蚀性等各类特种气体SiH4，NH3，CL2等，特气输送系统就是把以上各种特种气体安全、稳定的、以满足工艺制程要求的压力和流量等供应至工艺设备，并且特气系统本身在供应输送过程中不会对特种气体产生二次污染。

服务范围：为客户设计整套特气系统方案（除特气供应），特气设备选型、配置设计至相应配套的工艺管道布置安装，为客户提供符合工艺需求的特气输送成套系统，并按客户要求进行针对空间管理及需求配置。