半自动气柜：适应于所有高纯气体的供应系统；
基本功能包括手动吹扫，自动切换，以及可选自动切断（当设定报警号被触发时）。本系统控制系统由PLC加触摸屏方式及PLC加开关式，并配以特有的逻辑控制。面板部件全部采用模块结构，以使面板内的总容积*小，并*大限度地减少了泄露的可能性，面板部件所有的接口全部为VCR接口；
