产品特点：99%的处理效率；高安全性；低运行成本；操作简单，维护成本 低；PLC控制；可选择水循环系统； 燃烧反应室可定时自动清洁，超长时间稳定运转；
适用于：适应于：非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等PECVD制程、半导体、微电子等行业中蚀刻制程与 化学气相沉积制程中产生的废气
