产品特点：99%的处理效率；高安全性；安装简单，无需地面特殊正理；低运行成本，处理残渣方便；PLC控制，超长时间稳定运转；
适应于：非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等PECVD制程、半导体、微电子等行业中制程中产生的部分毒性废气。常用于易燃易爆特气输送系统Vent气体处理（H2、O2系统除外）；
