产品特点：99%的处理效率；高安全性；低运行成本，更换吸附剂方便；PLC控制，超长时间稳定运转；适用于：非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等PECVD制程、半导体、微电子等行业中制程中产生的部分毒性废气；常用于特气输送系统Vent气体处理；
